刘文1,2,3,王磊2,周宁1,3,张义文2,邱飞2,徐志谋2,王定理1,3,李林松1,3,曹明德1,3
1武汉邮电科学研究院光纤通信技术和网络国家重点实验室(筹),湖北 武汉 430074
2华中科技大学武汉光电国家实验室(筹),湖北 武汉 430074
3武汉邮电科学研究院光迅科技股份有限公司,湖北 武汉 430074
摘 要:适合DWDM系统应用的高性能DFB半导体激光器是现代光通信系统中发射机的核心光电子器件,光栅的设计和制作是决定器件性能的关键因素之一。目前,基于MOCVD设备的材料外延技术趋于稳定,高速器件封装技术也已经成熟,满足DWDM需求的DFB光栅的加工渐渐成为进一步降低成本的一个瓶颈。本文利用纳米压印技术制作DFB激光器光栅。结果表明,利用纳米压印技术制作出来的DFB激光器性能不逊于用EBL直接制作出的高性能激光器,不仅可以满足DWDM系统的要求,而且还具有生产效率高、成本低的优点。
关键词:DFB激光器;纳米压印;DWDM;光通信
全文请见《中国通信》(中英文版)2010年第三期(Vol.7 No.3)